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第三十九章:国内第一条自主研发的晶圆生产线!损耗率1.2%!

自从滚磨机制作完成之后,晶圆厂的精度就从提拉单晶硅柱,变成了分段滚磨。

很快就有数十个单晶硅段已经滚磨完成,等待着多线切割机,将单晶硅段切片。

接下来的几天,苏晨每天都在实验室进行着机器的组装。

多线切割机、倒角机、精磨机、刻蚀机……

苏晨每天都会加班,一台台机器按照图纸成功完成。

滚磨好的单晶硅段被切片,然后通过机械打磨,让表面平整,并且将厚度减到775微米。

随后利用倒角机,将边缘做成直角。

紧接着用精磨机再次去除10微米左右的厚度。

最后放入刻蚀机中,进行杂质的溶解。

这就是目前晶圆片所能到的步骤。

不过想要正式放入光刻机之中,还需要两步。

首先是化学机械抛光,然后是涂抹光刻胶。

今天的任务就是给晶圆片抛光!

此时抛光机已经正式完工!

正在进行通电的实验!

“报告,电压正常,各个零部件之间没有坏损。”

“启动成功!”

连接上电源,机器一次性点亮!

所有人都欢呼了一声。

“总算搞定了,这样的话,明天到了净室,就可以进行加工试验了!”

“是啊,要是明天的实验可以成功,我们的项目就是大功告成!”

“一定没问题的!”

“嘘,你们看,苏工又出去了!”

“十点了,肯定又是给女朋友汇报工作去了!以后一定是个妻管严!”

“鬼扯,这叫做贴心顾家有责任心!!每天给女朋友报平安,有这样的男友真让人安心!”

“是啊,苏工这几天打电话时间越来越长了!”

“……”

苏晨完全没有听到同事的议论。

这几天下来,研发出来的机器都是一次性点亮成功!

他发现,似乎真的被周淑伊给说中了!

难不成她真的言出法随?

“你看,我都说了言出法随了!明天你肯定也能一次成功!”

“我晚上给你做好饭,然后去楼下接你!”

电话那边的周淑伊脸上有些小兴奋。

苏晨淡淡一笑:“那我要是回不去,你不是白做了?”

刚说完,旁边的树奈奈就跳了出来。

“姐夫快回来吧,老板每天都烧一样的菜,我们都要吃吐了!”

“对啊姐夫,周姐还不让我们点外卖,再吃下去,我人都要变成那盘菜的形状了!”

周淑伊一脸嫌弃的把两边的人推开。

“你们跳完舞了吗就出来!回去直播去,不然扣你们工资!”

“哇,黑心老板!”

“周扒皮呀!”

听到蛋宝的哀嚎,周淑伊一脸黑线。

她还正好姓周!

真·周扒皮!

这两个白眼狼!

住着汤臣一品,还吃着那么好吃的食物,居然还说自己是周扒皮!

真是该好好惩罚一下才行!

苏晨嘴角微微有了一丝弧度。

“好了,我回去工作了,你也赶紧回去直播吧。”

“嗯,明天等你!”

说完之后,苏晨放下了电话。

不知道为什么,他竟然有些期待明天的晚餐。

最近实验室这边的饭已经有些吃腻了。

……

翌日。

器材被放入了净室之内。

因为最后一步抛光之后,硅片需要做最好的避尘措施,否则沾染了灰尘的话,很可能就会在涂抹光刻胶的环节将灰尘封锁在内。

到时候光刻时,数百微米的尘埃会阻碍纳米级的光刻技术。

苏晨和杨平换上了防尘服,在经过360度无死角的热烘之后,算是彻底清除了身上的尘埃,正式进入实验室。

很快,实验室开始了最后的实验——将硅片进行化学机械抛光。

几个科研人员调试好设备之后,从密封箱中拿出了一片硅片。

此时硅片的颜色还是略带暗沉。

将硅片固定到可以旋转的抛光仪器上,一切就准备完成了。

“实验开始。”

中控室下达命令。

几个科研人员开始操作机器上的旋钮。

很快硅片就在卡槽内开始旋转起来。

其实这一步也属于打磨,只不过要在打磨之后完成抛光。

很快在三个刷头的研磨下,暗沉的硅片开始散发出了光泽!

几分钟后,硅片表面完全变成了一个非常完美的镜面!

抛光完成之后,涂胶机的触手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。

托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。

一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片上。

因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!

检验这张12英寸晶圆的最好方法就是放入光刻机,直接进行光刻!

所以几乎是马不停蹄,晶圆被吸入了光刻机里。

经过几分钟的等待,一片光刻好的晶圆就诞生了。

直到这一步,所有的工程师才欢呼起来!

“成功了!”

“一次性成功!”

“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”

很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。

不多时,详细数据就已经有了。

“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有1.2%”

“损耗率比国外低7.9%!”

这个数据无疑是惊人的!

因为1.2%的损耗率实在是太低了。

硅片因为过薄而崩裂是一种非常常见的事情!

而1.2%的损耗代表什么!?

每一百片硅片会崩1~2片!

国外可不只是这么简单了!

几个院士此时也无比激动!

这个成品率简直惊世骇俗!

其实最大的原因还是因为多线切割机这个想法!

简直是一个极度聪明的点子!

现在。

12英寸晶圆实现国产,国内的芯片制造就彻底不需要担心被卡脖子了!

而且芯片成本也会大幅度下降!

直到现在,华夏的芯片之路才算是真正的和国外走在了同一个水平线上!

“小苏,你真是半导体行业的天才!”

“1.2%的损耗率!了不起啊!这次苏晨在12英寸晶圆技术上,有无可替代的作用!”

“要不是小苏的这些图纸,我们恐怕五年之内都要对国外望其项背啊!”

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